優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm
毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描
納米級精度，實現(xiàn)微米級的深度寬度測量
自動聚焦，自動調平，一鍵生成統(tǒng)計報告
全新搭載ECT抗干擾系統(tǒng)，兼容生產(chǎn)線自動化測量
全新人機交互軟件設計，充分提高使用便捷性
產(chǎn)品簡介
核心參數(shù)
Polytec 全新光學輪廓儀 TopMap.Micro View系列產(chǎn)品
全新ECT環(huán)境補償技術，配合4軸平臺自動傾斜矯正，
完美解決傳統(tǒng)白光干涉聚焦問題
噪雜的復雜環(huán)境也同樣適用！
關鍵詞：
詳情請參閱產(chǎn)品目錄
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