mems帽進行原理測量
顯示帶帽mems的動態特性
捕獲的操作缺陷形狀
2軸加速度計(fhgenas)的平面運動分析
不同表面反射的相對強度貢獻(左)和不同光學結構的離焦光強度與反射源距離的關系(右)
用于芯片級測量的探針臺集成
產品簡介
核心參數
MEMS器件的動態特性測試和機械響應可視化對于產品開發、故障排除和有限元模型驗證來說非常重要。Polytec公司的MSA顯微式激光測振儀能快速、準確地測試顯微結構的面外振動(OOP)和面內振動(IP)。全新的MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀甚至可以透過完整的微型硅密封器件進行測試，如慣性傳感器，MEMS麥克風，壓力傳感器等。
典型應用
· 慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀
· 微機電傳感器和致動器 (MEMS)
· 打印機噴墨頭 · 壓力傳感器薄膜
· 耳機、微型鏡頭等
亮點
· 通過硅封裝器件的不同層測試MEMS動態特性
· 實時面外振動測試，最大帶寬高達25 MHz
· 亞皮米級面外振動位移分辨率
· 易于集成至生產線上的自動測試系統(兼容商用探針臺)
· 頻閃法測試面內振動，帶寬高達2.5 MHz
· 更好地分離器件的各個層
· MEMS器件的最終有限元模型驗證
關鍵詞：
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